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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻
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光刻 已有2人參與
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一個鍍了二氧化硅的鈮酸鋰晶圓，光刻的時候總是吸附到掩模板上，導(dǎo)致光刻膠被粘掉，無法光刻無法對準(zhǔn)，3612的膠，烘烤時間75℃/20min，真空度正常，有哪位大佬指導(dǎo)一下，實在找不到問題所在了？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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7樓2023-11-20 20:30:09
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