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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射
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[交流]
磁控濺射 已有2人參與
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我在做磁控濺射的時候有輝光，但是自偏壓為0，這是為什么啊，用的是氧化釔陶瓷靶材 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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3樓2023-10-11 21:30:30
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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自偏壓為0，可能與設備配置和操作有關。 調整電源工作方式，使得設備在"自偏"模式下工作，此時系統(tǒng)會自動調整偏壓以獲得最佳的鍍膜效果。如果電源初始設置的自偏壓已經(jīng)接近0V，或者設備調節(jié)到最優(yōu)狀態(tài)，真正的最佳偏壓就接近于0V，那么自偏壓表現(xiàn)出的就是0。 磁控濺射系統(tǒng)的電源通常是直流(DC)或脈沖直流(Pulse DC)電源，對于一些絕緣性或半絕緣性的硬質靶材(氧化物、硅化物靶材)，會因為二次電子的積累在靶材上形成絕緣層，使得電流不能正常進行，影響了鍍膜過程。在這種情況下，一般使用射頻(RF)電源或中頻(MF)電源。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2023-10-11 11:22:55
4樓2023-10-11 21:33:07
5樓2023-10-11 21:44:27
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