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行而不輟1新蟲 (小有名氣)
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求助：在玻璃基板上旋凃pi溶液，膜厚問(wèn)題 已有1人參與
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在玻璃基板上旋凃pi溶液，退火后進(jìn)行剝離，發(fā)現(xiàn)他的膜太薄了，大概50nm左右，想要100nm左右的，大佬們?cè)撛趺醋觯课倚齼蜣D(zhuǎn)速為700r @hwweven 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2023-10-06 12:37:50
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3樓2023-10-06 12:40:28
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4樓2023-10-06 15:29:33
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調(diào)整旋轉(zhuǎn)速度：在固定其他參數(shù)的情況下，提高旋轉(zhuǎn)速度會(huì)降低膜的厚度，反之則會(huì)增加膜的厚度。如果你目前的膜厚度為50nm，轉(zhuǎn)速為700轉(zhuǎn)/分，你希望得到大約100nm的厚度，將旋轉(zhuǎn)速度降低一些可能會(huì)有幫助。具體多少可以進(jìn)行一些嘗試。 調(diào)整溶液濃度：提高溶液的濃度也可以增加膜的厚度。在保持旋轉(zhuǎn)速度不變的情況下，將溶液的濃度增大，可以得到更厚的膜。 多次旋涂：還可以通過(guò)多次旋涂的方式來(lái)增加膜的厚度，每次旋涂后進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚恚缓笤龠M(jìn)行下一層的旋涂。 調(diào)整旋涂時(shí)間：在保持其他參數(shù)不變的情況下，延長(zhǎng)旋涂時(shí)間可以增加膜的厚度。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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行而不輟15樓2023-10-07 15:48:32
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6樓2023-10-09 19:37:07
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