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磁控濺射靶槍的夾角會(huì)影響合金靶材里原子的濺射產(chǎn)額嗎？合金靶材里的原子濺射產(chǎn)額比跟原子質(zhì)量比的指數(shù)呈反比嗎？如果我用一個(gè)合金靶材和一個(gè)純金屬靶材一起濺射，怎么控制薄膜的成分大致跟合金靶材的成分接近呢？ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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