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159086244新蟲 (正式寫手)
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[求助]
求問Plasma density或者Plasma power density的計(jì)算
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求問各位大佬 我是做薄膜材料的，使用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD） 有些文章里，使用電容耦合等離子（CCP）方法，極板面積是X，等離子功率是Y，他們就會(huì)說Plasma density是y/x 但是我目前使用的方法是ICP，應(yīng)該如何計(jì)算Plasma density |
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