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suhongda新蟲 (初入文壇)
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[求助]
新設(shè)備ALD-Al2O3沉積速率異常的高
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用的是TMA-H2O，溫度80，每個(gè)cycle有2～3A，這過(guò)速率快常嗎？我看的文獻(xiàn)都是1A左右。沖洗時(shí)間，控壓，低壓，脈沖時(shí)間都試過(guò)了，這沒(méi)有小過(guò)2A/cycle的，折射率也很低只有1.4。這要怎么解決�。� 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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suhongda
新蟲 (初入文壇)
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2樓2023-09-22 20:12:48
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