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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者xf881019w將贈送您 100 個金幣 | ||
[求助]
PVD薄膜沉積過程中的Overlay Mark shift問題
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| 如題所示，求一些相關(guān)文獻(xiàn)，PVD的薄膜沉積中，這種Overlay的Mark shift是由于靶材后面的磁控管造成的嗎？磁場對這個現(xiàn)象的應(yīng)先是怎樣的？求相應(yīng)的參考文獻(xiàn)或者書籍類的資料 |
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