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船長(zhǎng)的船鐵蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射靶退磁 已有1人參與
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請(qǐng)問(wèn)磁控濺射使用三四年以上，靶子里面的磁體會(huì)退磁嗎？之前強(qiáng)磁靶可以濺射2mm厚的鐵、鈷、鎳靶材，現(xiàn)在只能濺射1mm厚的靶材，并且濺射速率較慢。這應(yīng)該是靶內(nèi)磁體退磁，但一般濺射都是常溫，有幾次最高襯底溫度是300度，為什么還是會(huì)退磁呢？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
2樓2024-12-02 22:45:30
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3樓2024-12-02 22:51:19
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