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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控濺射靶退磁
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船長的船鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射靶退磁 已有1人參與
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請問磁控濺射使用三四年以上，靶子里面的磁體會退磁嗎？之前強(qiáng)磁靶可以濺射2mm厚的鐵、鈷、鎳靶材，現(xiàn)在只能濺射1mm厚的靶材，并且濺射速率較慢。這應(yīng)該是靶內(nèi)磁體退磁，但一般濺射都是常溫，有幾次最高襯底溫度是300度，為什么還是會退磁呢？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2023-08-15 16:56:26
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