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[交流]
求助大佬。磁控濺射銅?氧化鋅?銅的結構。
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在硅片上磁控濺射銅?氧化鋅?銅的結構。出現(xiàn)各層之間元素摻雜現(xiàn)象。還有出現(xiàn)過各層之間不分層的現(xiàn)象，和最底層銅被擊掉或脫落，相同工藝參數(shù)厚度明顯小于第三層。求助大佬。這些分別是什么原因。求助? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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