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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 請教硅通孔刻蝕的問題。
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wj0702114081金蟲 (正式寫手)
學神的奴隸
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[交流]
請教硅通孔刻蝕的問題。
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用bosch刻蝕硅通孔，之前用泵油粘貼過載片，刻蝕到最后泵油會溢出到結(jié)構(gòu)里，遮擋刻蝕。 后來咨詢工程師，說用真空硅脂粘貼載片。 樣品背面鍍了一層鋁做截至層。 但是刻蝕到結(jié)構(gòu)的最底部，圖形的邊角部分總是刻蝕不干凈。 是刻蝕時間不夠呢還是底部鍍膜和硅脂有影響？ 請教大佬，si通孔刻蝕，有什么技巧嗎？ |
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wj0702114081
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