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旋涂不均勻該怎么解決 已有1人參與
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| 求助各位,在旋涂的薄膜為什么中間薄,邊緣厚,降低轉(zhuǎn)速也沒有用,加長時間就又不能達(dá)到需要的薄膜厚度了,經(jīng)常出現(xiàn)邊緣旋涂不到的情況,還會出現(xiàn)有旋涂的地方有薄膜特別薄的小圓圈,有沒有大神有這方面經(jīng)驗幫忙解答一下呀? |


至尊木蟲 (著名寫手)


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