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[交流]
原子層沉積（ALD）交流
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| 本人在用原子層沉積制備氧化物的時候發(fā)現(xiàn)氧化物很容易制備出高性能的介質(zhì)材料，但是制備氮化物，特別是大尺寸的容易出現(xiàn)均勻性問題，請問氮化物的制備工藝應(yīng)該注意什么 |
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