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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 電工材料 » 求解磁控濺射的ITO方阻特別大的原因
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Mirectol新蟲 (初入文壇)
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求解磁控濺射的ITO方阻特別大的原因 已有2人參與
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我們是做薄膜電池的，用ITO作為窗口層收集載流子。前段時間方阻已經到達了75歐姆而透過率在400納米波長降到了60%。如今再做霍爾方阻都上萬了而透過率卻勉強75%。。目前研二遇到這問題很頭疼有沒有遇到類似的大佬講解下，磁控啟輝的顏色是粉色（N5氬氣，條件是0.15pa,130w半小時濺射約180nm厚） 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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hong880214 
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