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關于剝取沉銅層的方法 已有1人參與
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本人目前正在做有關沉銅層性能測試的研究,但是遇到了一些操作的問題。研究目標的沉銅層僅幾百納米厚,為了進行拉力測試需要將其剝取下來。 因為沉銅的過程是在工廠產線做的,所以過程中不能讓沉銅層掉落污染設備,要求結合較好。但是結合力太好又會使得沉銅層難以剝取,結合好和好剝取本身是矛盾的。我試過鋼板、鈦板做基底,結合力都太好了無法剝取。 我曾經試想過用其他基底,然后用化學方法去除基底,但是微納級的銅太過脆弱不能用酸堿之類的進行處理。目前想要使用玻璃板,但是害怕玻璃太光滑會在沉銅過程中污染設備。 請問大家有沒有什么方法可以解決這個問題,比如在基底和沉銅層之間加一層隔離層之類的,這個隔離層結合力較好但是可以后期去除。或者有某種更好的基底可以兼顧二者? 注:沉銅后為模擬產線的步驟會對樣品加熱到160℃,所以基底和隔離層之類的都要能承受160℃的溫度。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
金蟲 (知名作家)
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