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彼岸OvO新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
原子層孔內(nèi)沉積薄膜 已有1人參與
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| 蟲(chóng)友們，用原子層沉積在納米孔內(nèi)沉積薄膜的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)前驅(qū)體并沒(méi)有進(jìn)入到通孔內(nèi)部，無(wú)法在孔內(nèi)沉積 ，一直沉積在表面，是什么原因呢 |
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su183
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自己搭建的做氧化物應(yīng)該還可以，做氮化物估計(jì)有點(diǎn)費(fèi)力，最低都得配一個(gè)手套箱 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
7樓2022-08-22 16:04:17
su183
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2樓2022-08-15 14:03:58
彼岸OvO
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你好，是增大每循環(huán)的前驅(qū)體脈沖時(shí)間嗎？清掃時(shí)間的長(zhǎng)短有沒(méi)有影響？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2022-08-17 16:14:19
su183
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4樓2022-08-18 17:40:20
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