 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 1 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 499 | 回復(fù): 0 | |||
learzheng新蟲 (初入文壇)
|
[交流]
HiPIMS反應(yīng)濺射制備SiO2-Ta2O5光學(xué)干涉膜
|
|
新鉑科技，聚焦高能等離子體表面工程硬件和工藝。 引言 — 在Si靶和Ta靶氧反應(yīng)濺射時(shí)，用合適的HiPIMS脈沖參數(shù)可以抑制進(jìn)氣遲滯回線，在沒有氣體控制器下也能保證工藝穩(wěn)定性。 點(diǎn)睛 — 通過HiPIMS反應(yīng)濺射制備SiO2-Ta2O5光學(xué)干涉膜，并和RFMS制備膜層進(jìn)行比較，HiPIMS制備的堆垛層，膜層更加致密，SiO2和Ta2O5界面更加清晰，折射率更高。 內(nèi)容 — 濺射Si靶參數(shù)為：HiPIMS頻率為1Khz，脈寬為40us，Ar=45sccm，O2=0-4sccm進(jìn)氣量，測試增加氣體和減少氣體曲線如圖1（a）和（b）；濺射Ta靶參數(shù)為：HiPIMS頻率為50hz，脈寬為200us，Ar=45sccm，O2=0-50sccm進(jìn)氣量，測試增加氣體和減少氣體曲線如圖1（c）和（d）所示； 圖片 圖1，a）和b）為Si靶連接HiPIMS時(shí)電流電壓及功率與氧含量曲線， c）和d）為Ta靶HiPIMS時(shí)電流電壓及功率與氧含量曲線 從圖中可以看出，隨著氧含量增加或者降低，Si靶和Ta靶都不存在遲滯現(xiàn)象。HiPIMS制備SiO2和Ta2O5的氧含量窗口很寬。 圖2，a）為RF濺射制備的11層堆垛層，相比較b）HiPIMS制備的堆垛層，膜層更加致密，SiO2（白亮層）和Ta2O5（黑暗層）界面更加清晰。 圖片圖片 圖2, a）和b）分別表示RFMS和HiPIMS制備的SiO2和Ta2O5的濾鏡截面SEM圖 分別比較RFMS和HiPIMS制備光學(xué)層的折射率，如圖3所示，在波長550nm處，HiPIMS制備五氧化二鉭達(dá)到2.2，而RFMS制備涂層折射率為2.16，其0.04的顯著增加主要來自于HiPIMS濺射過程中離子轟擊增強(qiáng)導(dǎo)致非晶態(tài)膜層致密度提高。 圖片 圖3、RFMS和HiPIMS制備的SiO2和Ta2O5的折射率n 結(jié)論 — 用HiPIMS制備SiO2和Ta2O5，其工藝窗口寬，單層膜的折射率要明顯高于RFMS制備涂層。同時(shí)7層和11層堆垛的濾光層，其膜基結(jié)合力更高，膜層應(yīng)力更低。 參考文獻(xiàn) — 1.Hala et al，Reactive HiPIMS deposition of SiO2//Ta2O5optical interference filters，J. Appl. Phys. 116, 213302 (2014) |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
北京工商大學(xué)中國輕工業(yè)聚合物發(fā)泡材料加工與應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室2026年博士研究生招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
北京工商大學(xué)中國輕工業(yè)聚合物發(fā)泡材料加工與應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室2026年博士研究生招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有179人回復(fù)
-
伯胺反應(yīng)生成叔胺
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
0805總分292，求調(diào)劑
已經(jīng)有13人回復(fù)
-
求一個(gè)軟件
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
5年內(nèi)！藥企無法掌握對(duì)元素雜質(zhì)工藝將面臨淘汰（2025藥典0861、0862新規(guī)）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
從爆炸廢墟到安全防線：鉭材料將改寫化工反應(yīng)釜的命運(yùn)
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
罕見病藥小批量生產(chǎn)，高腐蝕工況下鉭襯里是否最優(yōu)解？
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
考研調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 learzheng 的主題更新
| 1 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 337一志愿華南理工0805材料求調(diào)劑 +5 | mysdl 2026-03-11 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +3 | Copy267 2026-03-10 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 研究生招生 +3 | 徐海濤11 2026-03-10 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0832食品科學(xué)與工程293調(diào)劑 +4 | 東東不東 2026-03-07 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-11 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 0857環(huán)境調(diào)劑 +5 | 熠熠_11 2026-03-10 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料專碩288分求調(diào)劑 一志愿211 +3 | 在家想你 2026-03-11 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0817學(xué)碩華東區(qū)求調(diào)劑 +3 | 30660438 2026-03-08 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑！ +3 | 朔朔話 2026-03-09 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿天大化工（085600）調(diào)劑總分338 +5 | 蔡大美女 2026-03-09 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 310 070300化學(xué)求調(diào)劑 +4 | 撲風(fēng)鈴的貓 2026-03-08 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +5 | Trying] 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 313求調(diào)劑 +4 | Yyt楊1 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0817找調(diào)劑 +6 | kk扛 2026-03-08 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿211 材料與化工 280求調(diào)劑 +3 | Sanity蔣 2026-03-08 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 考研求調(diào)劑，工科，總分304 +4 | 矮子不想長高了 2026-03-08 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 070300化學(xué)求調(diào)劑292分 +3 | 打烊eee 2026-03-07 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 誠求調(diào)劑，323分 有專利/科研/實(shí)習(xí)經(jīng)歷 +6 | 橙子cyx 2026-03-06 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 哈爾濱理工大學(xué)2026年研究生調(diào)劑，材料科學(xué)與化學(xué)工程學(xué)院研究生調(diào)劑 +3 | xinliu866 2026-03-06 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 不限學(xué)校專業(yè)的調(diào)劑同學(xué)看過來 +5 | 啊擺啊擺 2026-03-05 | 9/450 |
|