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learzheng新蟲 (初入文壇)
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[交流]
HiPIMS高壓脈沖電源使用小技巧
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新鉑科技，聚焦高能等離子體表面工程硬件和工藝。 問(wèn)：HiPIMS電源怎么調(diào)節(jié)參數(shù)？ 答：使用示波器測(cè)試電流波形 根據(jù)峰值電流大小，判斷脈寬；設(shè)定好脈寬，再提高輸出參數(shù)和增加頻率，來(lái)增加功率，適當(dāng)時(shí)可以小幅值增加脈寬。 問(wèn)：HiPIMS負(fù)載線注意事項(xiàng)？ 答： 一、電源輸出線離腔體盡量近，電源線盡量短 為了保證脈沖電流波形引入到真空腔體時(shí)波形不畸變，且衰減小。期望在系統(tǒng)中，脈沖電鍍電源與真空腔體的距離2-3m為佳。長(zhǎng)線易對(duì)脈沖電流波形的上升、下降沿產(chǎn)生較大的影響，真空腔體打火時(shí)，滅弧效果有影響。 二、正負(fù)極導(dǎo)線使用同軸線纜或者雙絞屏蔽 脈沖電源的輸出銜接，導(dǎo)線間的電感效應(yīng)越小越好。因而陰、陽(yáng)極導(dǎo)線最好的辦法就是同軸無(wú)感線纜。但為了省成本和線徑的考慮，也可使用兩根線纜高密度雙絞走線，并在外層套密的金屬織網(wǎng)屏蔽層，屏蔽層接良好的靜電地，減少對(duì)外圍設(shè)備的干擾。 三、線纜線徑的選擇 由于是脈沖電源，為了避免趨膚效應(yīng)，在導(dǎo)線挑選時(shí)，應(yīng)挑選多股芯線作脈沖電源到真空腔體靶極的連接線。多股芯線絞織，其間的線電容能夠抵消其電感效應(yīng)。導(dǎo)線的線徑一定要滿足其通過(guò)的平均額定電流，且耐壓值高于脈沖輸出電壓。由于脈沖電流的電流密度要比均勻電流的電流密度幾十倍甚上百倍，因而有必要考慮能接受脈沖電源的電流所發(fā)生的電流熱效應(yīng)，以保證避免電流產(chǎn)生的高溫，損傷線纜，避免出現(xiàn)安全事項(xiàng)，同時(shí)也減少線纜損耗。 舉例：脈沖電流為1000A，占空比為1~10%，其均勻電流最大約為100A，而額定電流為：(1000×10%)×1.2≈120A，銅導(dǎo)線導(dǎo)電電流計(jì)算公式為（線徑*3~10A）在挑選導(dǎo)線時(shí)，最好挑選超過(guò)25平方毫米的銅導(dǎo)線（25*5=125A）。一般銅線線徑與電流常用的換算方法是： 圖片 2.5 平方毫米銅電源線的安全載流量--28A； 4平方毫米銅電源線的安全載流量--35A； 6平方毫米銅電源線的安全載流量-- 48A； 10平方毫米銅電源線的安全載流量-- 65A； 16 平方毫米銅電 源線的安全載流量-- 91A； 25平方毫米銅電源線的安全載流量-- 120A； 35平方毫米銅電源線的安全載流量-- 125A； 估算口訣: 二點(diǎn)五下乘以九,往上減一順號(hào)走。 三十五乘三點(diǎn)五,雙雙成組減 條件有變加折算,高溫九折銅升級(jí) 穿管根數(shù)二三四,八七六折滿載流。 |
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