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研磨拋光（CMP）仿真，即根據(jù)CMP機(jī)械運(yùn)動(dòng)的模型，仿真工件上某個(gè)質(zhì)點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)軌跡。

具體描述為：

x和y都是關(guān)于時(shí)間t的函數(shù),有n組不同的x和y的函數(shù)表達(dá)式,在給定的時(shí)間t內(nèi)，利用matlab同時(shí)繪出這n組函數(shù)的曲線(xiàn)軌跡。

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1樓 2022-06-30 23:45:58

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2樓2022-07-01 07:02:21

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2樓: Originally posted by 雨中奔跑 at 2022-07-01 07:02:21
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你好，謝謝回復(fù)。
我本來(lái)想上傳圖片的，但是手機(jī)app沒(méi)辦法上傳。
我把文獻(xiàn)照片保存的下面的鏈接，您看一下。
https://qr.maitube.com/img/GEABJH

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3樓2022-07-01 08:42:31

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在一個(gè)圓形區(qū)域內(nèi)隨機(jī)產(chǎn)生100個(gè)點(diǎn),并根據(jù)這些點(diǎn)的軌跡方程畫(huà)出其軌跡曲線(xiàn)

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4樓2022-07-01 17:02:22

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2樓: Originally posted by 雨中奔跑 at 2022-07-01 07:02:21
這個(gè)有參考文獻(xiàn)嗎？

我最近在用Matlab編寫(xiě)一段研磨拋光工藝設(shè)備當(dāng)中的磨粒在工件表面的運(yùn)動(dòng)軌跡代碼，根據(jù)的是如下圖所示文獻(xiàn)中的質(zhì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)方程。
我自己可以編寫(xiě)單個(gè)質(zhì)點(diǎn)和少數(shù)幾個(gè)質(zhì)點(diǎn)的軌跡，如下是我自己編寫(xiě)的代碼簡(jiǎn)略版：
1、定義時(shí)間t=linspace（0，10，1000）；
2、給出質(zhì)點(diǎn)x坐標(biāo)關(guān)于時(shí)間t的函數(shù)x=f（t）；
3、給出質(zhì)點(diǎn)y坐標(biāo)關(guān)于時(shí)間t的函數(shù)y=f1（t）；
（以上兩個(gè)函數(shù)就是第一張圖片（2-4）給出的軌跡方程）
4、plot（x，y）
如果是多個(gè)質(zhì)點(diǎn)同時(shí)畫(huà)，每個(gè)質(zhì)點(diǎn)軌跡方程不相同的參數(shù)有兩個(gè)，一個(gè)是半徑rp，一個(gè)是與x軸的夾角theta。
給定rp和theta，我自己可以同時(shí)畫(huà)幾個(gè)質(zhì)點(diǎn)的軌跡，即plot（x1，y1，x2，y2……）。
但是要在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，隨機(jī)選n個(gè)點(diǎn)，比如1000個(gè)點(diǎn)，同時(shí)畫(huà)它們的軌跡，如最后2張圖片，我就無(wú)能為力了。
一方面不知道怎么去圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn)，一方面就算知道怎么取點(diǎn)，也不知道怎么去帶入軌跡方程畫(huà)圖。
以上。

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5樓2022-07-01 22:08:03

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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

以下代碼供參考。在 MATLAB R2009a 上可運(yùn)行。
你應(yīng)仔細(xì)檢查，看看研磨運(yùn)動(dòng)學(xué)模型軌跡方程有沒(méi)有寫(xiě)錯(cuò)。

CODE:

   
%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn)

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤(pán)半徑

r = 90;  % 工件盤(pán)半徑

e = 130; %  研磨盤(pán)與工件盤(pán)中心距

theta_T = 360;

% 圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn) , 圓心(0,0)

n = 100;  % 點(diǎn)數(shù)

r_100 = R*rand(n,1);  %  極徑

theta_T_100 = theta_T*rand(n,1);  %   相位角

% 畫(huà) 研磨盤(pán)

tt = 0:pi/20:2*pi;

x1 = R*cos(tt);

y1 = R*sin(tt);

plot(x1,y1,'LineWidth',2);

axis equal

hold on

% 畫(huà) 工件盤(pán)

x2 = r*cos(tt)+e;

y2 = r*sin(tt);

plot(x2,y2,'LineWidth',2);

% 畫(huà) 隨機(jī)點(diǎn)

x3 = r_100.*cos(theta_T_100*pi/180);

y3 = r_100.*sin(theta_T_100*pi/180);

plot(x3,y3,'.');

%  --------------------------------------------------------------------------------

%  2. 帶入軌跡方程畫(huà)圖

wp = 10;  % 研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速

ap = theta_T_100*pi/180;   %  初始相位角

rp = r_100;  %  初始極徑

i1 = sqrt(3)/5;  %  轉(zhuǎn)速比

ww = wp*i1;  %   工件轉(zhuǎn)速

t2 = 1  % 加工時(shí)間

t = 0:0.01:t2;

for k = 1:n

    %     軌跡方程

    xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t)+e;

    % xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t);

    yp2 = rp(k)*sin(ap(k) + wp*t- ww*t) + e*sin(ww*t);

    plot(xp2,yp2)

%     刪除以下兩句，可見(jiàn)完整的研磨運(yùn)動(dòng)軌跡

    xlim([-90+e 90+e])  % axis limits

    ylim([-90 90])  % axis limits

end

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6樓2022-07-02 14:44:17

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【答案】應(yīng)助回帖

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允執(zhí)厥中: 金幣+2000, ★★★★★最佳答案, 滿(mǎn)足需求 2022-07-03 09:09:46

更正：

1. 坐標(biāo)系平移 (0,0) -> (e,0)
2. ww = wp/i1; % 工件轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速比i = wp/ww

CODE:

   
%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn)

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤(pán)半徑

r = 90;  % 工件盤(pán)半徑

e = 130; %  研磨盤(pán)與工件盤(pán)中心距

theta_T = 360;

% 圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn) , 坐標(biāo)系1圓心(0,0)   坐標(biāo)系2圓心(e,0)

n = 100;  % 點(diǎn)數(shù)

r_100 = R*rand(n,1);  %  極徑

theta_T_100 = theta_T*rand(n,1);  %   相位角

% r_100 = 90;  %  極徑

% theta_T_100 = 0;  %   相位角

% 畫(huà) 研磨盤(pán)   坐標(biāo)系2圓心(e,0)

tt = 0:pi/20:2*pi;

x1 = R*cos(tt)-e;

y1 = R*sin(tt);

plot(x1,y1,'LineWidth',3);

axis equal

hold on

% 畫(huà) 工件盤(pán)  坐標(biāo)系2圓心(e,0)

x2 = r*cos(tt)+0;

y2 = r*sin(tt);

plot(x2,y2,'LineWidth',5);

% 畫(huà) 隨機(jī)點(diǎn)  坐標(biāo)系2圓心(e,0)

x3 = r_100.*cos(theta_T_100*pi/180)-e;

y3 = r_100.*sin(theta_T_100*pi/180);

plot(x3,y3,'.');

%  --------------------------------------------------------------------------------

%  2. 帶入軌跡方程畫(huà)圖

wp = 10;  % 研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速

ap = theta_T_100*pi/180;   %  初始相位角

rp = r_100;  %  初始極徑

% ap = 0;   %  初始相位角

% rp = 90;  %  初始極徑

i1 = 0.3819  %  轉(zhuǎn)速比  0.3464 sqrt(3)/5  4/3 0.3819

ww = wp/i1;  %   工件轉(zhuǎn)速

t2 = 0.3  % 加工時(shí)間

t = 0:0.001:t2;

for k = 1:n

    %     軌跡方程

%     xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t)+e;

    xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t);

    yp2 = rp(k)*sin(ap(k) + wp*t- ww*t) + e*sin(ww*t);

    plot(xp2,yp2)

% %     刪除以下兩句，可見(jiàn)完整的研磨運(yùn)動(dòng)軌跡

    xlim([-90 90])  % axis limits

    ylim([-90 90])  % axis limits

end

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7樓2022-07-02 18:28:32

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7樓: Originally posted by zyh700600 at 2022-07-02 18:28:32
更正：

1. 坐標(biāo)系平移  (0,0) -> (e,0)
2. ww = wp/i1;  % 工件轉(zhuǎn)速  轉(zhuǎn)速比i = wp/ww

%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機(jī)取點(diǎn)

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤(pán)半 ...

真的太棒了！我剛接觸matlab，本以為可以輕松搞定這個(gè)隨機(jī)軌跡，結(jié)果整了半天，還是不對(duì)。自己的思路這些是對(duì)的，但是查了很多資料，就是編寫(xiě)不對(duì)代碼

，搞得暈頭轉(zhuǎn)向的

。您的代碼非常詳細(xì)，層次也非常清楚，辛苦辛苦

！

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8樓2022-07-03 09:16:45

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引用回帖:

8樓: Originally posted by 允執(zhí)厥中 at 2022-07-03 09:16:45
真的太棒了！我剛接觸matlab，本以為可以輕松搞定這個(gè)隨機(jī)軌跡，結(jié)果整了半天，還是不對(duì)。自己的思路這些是對(duì)的，但是查了很多資料，就是編寫(xiě)不對(duì)代碼

，搞得暈頭轉(zhuǎn)向的

。您的代碼非常詳細(xì)，層次也非常清 ...

9樓2022-07-03 09:31:49

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