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[交流]
化學氣相沉積法制備碳納米管
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各位大佬我第一次做CVD想在碳纖表面沉積碳納米管，想讓各位幫忙看一下這個流程可不可行，大家有好的文獻能分享一下嗎？ 1.在氬氣氣氛下450℃一小時除去上漿劑。 2.氬氣氣氛，流量為0.3L/min,升溫至450℃關(guān)閉氬氣，開啟氫氣，氫氣流量為0.15L/min保溫1.5h還原。 3.關(guān)閉氫氣通入氬氣吹掃去除爐腔內(nèi)氫氣，之后在氬氣氣氛下升溫至650℃通入混合氣， 氬氣：氫氣：甲烷=0.3：0.15：0.02L/min,保持5min生長碳納米管，關(guān)閉氫氣與甲烷，保持氬氣降至室溫。 氫氣氣氛擬采用氫氬比為5：95的混合氣體，如果是純氫氣的話采用和氫氬混氣一樣的流量可以嗎？ 希望有大佬可以指點指點，第一次用CVD，有可燃氣體比較害怕爆炸，需要注意些什么呢？按照我的設(shè)計流程的話容易發(fā)生意外嗎？ 甲烷能有什么更好的替代嗎？ |
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chenhuanlong
禁蟲 (文學泰斗)
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3樓2022-06-29 19:52:27
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10樓2022-08-03 09:34:54
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tzynew2樓
2022-06-29 19:34
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假大空5樓
2022-06-29 20:49
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2022-06-30 17:48
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