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XRD無法檢測出薄膜物相 已有1人參與
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軸承鋼襯底上PVD制備的AlN薄膜,在做XRD時檢測出全是襯底的峰,問了相關老師說是薄膜太薄打透了,想問下各位大佬是如何解決此類問題的。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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