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ZEP電子束膠與鈮酸鋰粘附性不太好�？煞裼谜婵胀嘶鸬姆椒�，提高其界面性能？
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| 用ZEP作為電子束刻膠軟體掩膜（相當(dāng)于金屬鉻硬掩膜版）來做EBL（電子束曝光），用于刻蝕鈮酸鋰。但是，ZEP電子束膠與鈮酸鋰粘附性不太好�？煞裼谜婵胀嘶鸬姆椒�，提高其界面性能？ |
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