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[求助]
如何提高ZEP電子束膠與鈮酸鋰的界面性能？
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| 用ZEP作為電子束刻膠軟體掩膜（相當于金屬鉻硬掩膜版）來做EBL（電子束曝光），用于刻蝕鈮酸鋰。但是，ZEP電子束膠與鈮酸鋰粘附性不太好。不是如何提高其界面性能。 |
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