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formula678新蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射沉積碳膜，通入甲烷會(huì)有利于提高濺射效率
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各位前輩們，請問如果要用磁控濺射沉積碳膜或者含碳膜，老師們建議通入甲烷，會(huì)有利于提高碳的沉積效率，但是有的文章說到，和甲烷差不多的乙炔用于沉積類石墨碳。還是不是意味著甲烷或者乙炔這類氣體也會(huì)被濺射到薄膜里呢？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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