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半導(dǎo)體硼擴(kuò)散工藝
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看文獻(xiàn)固態(tài)源都用氮化硼，管式爐加熱后氮化硼轉(zhuǎn)為氧化硼再參與擴(kuò)散。想問(wèn)一下為什么不直接用氧化硼做固態(tài)源？ @hwweven 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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