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litho_hw新蟲 (初入文壇)
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[交流]
典型顯微系統(tǒng)的光學(xué)成像原理
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中國科學(xué)院大學(xué)（以下簡稱國科大）微電子學(xué)院是國家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院，國科大微電子學(xué)院開設(shè)的《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化》課程是國內(nèi)少有的研究討論光刻技術(shù)的研究生課程，而開設(shè)課程的韋亞一研究員及其團(tuán)隊(duì)具有多年的學(xué)術(shù)界及工業(yè)界的光刻技術(shù)經(jīng)驗(yàn)積累，并出版有多本專著，其中《計(jì)算光刻與版圖優(yōu)化》一書更是列入中國科學(xué)院大學(xué)研究生教學(xué)輔導(dǎo)書系列。本號獲授權(quán)將陸續(xù)介紹《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化》課程中學(xué)生的一些專題調(diào)研結(jié)果，以及《計(jì)算光刻與版圖優(yōu)化》書籍相關(guān)內(nèi)容，未經(jīng)許可，禁止轉(zhuǎn)載。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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litho_hw
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2樓2021-10-06 11:18:54
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