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[求助]
微流控芯片設(shè)計(jì) 已有1人參與
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想請教各位大神，如何能用光刻的手段來制備三維的微流控通道（比如制備一個(gè)三維的微流圓管） 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2021-09-10 16:56:38
石銀東
木蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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現(xiàn)在電子芯片的加工工藝已經(jīng)到nm級(jí)別了，所以你要光刻出三維的結(jié)構(gòu)，這個(gè)其實(shí)很簡單，采用無掩模直寫光刻系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然也有其他的手段，比如采用高精密3D打印工藝也是可以的，但是3D打印的缺陷是非常明顯。 在這里和大家普及下3D打印的諸多缺陷：①3D打印的樹脂材料本身不適合微流控芯片；②3D打印的尺度基本上要在幾十微米以上的；③3D打印的價(jià)格其實(shí)很貴的，堪比光刻的費(fèi)用；④3D打印的器件如果作為PDMS澆注模具的話，那么脫模是你無法繞開的問題，而廠家是不會(huì)管你的，脫模脫不掉那就只能重新打印，這成本是很高昂的。所以強(qiáng)烈建議大家，做微流控就不要考慮3D打印了，里邊的坑太多。 但是，無掩模直刻系統(tǒng)就不一樣，這才是微加工應(yīng)該標(biāo)配的設(shè)備，這類產(chǎn)品在市場上很多，但是在微流控領(lǐng)域比較常用的是由英國劍橋大學(xué)卡文迪許實(shí)驗(yàn)室主任/英國皇家科學(xué)院院士Cowburn教授根據(jù)其研究工作的需要而專門設(shè)計(jì)開發(fā)的科研及研發(fā)生產(chǎn)用利器Durham臺(tái)式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)：3D加工： 256級(jí)灰度，可實(shí)現(xiàn)Z方向的不同深淺的加工。該設(shè)備引入國內(nèi)約三年時(shí)間，目前在國內(nèi)已經(jīng)擁有50幾個(gè)用戶，如清華，北大，復(fù)旦，上大，南大，中科大，浙大，中科院物理所，技物所各研究所等科研高等學(xué)府及科研院所；福州高義光學(xué)，上海安翰醫(yī)療，北京ISBS科技等企業(yè)，并贏得了一致良好的使用口碑。具體可以咨詢我哈！ |
3樓2021-09-10 17:34:17
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