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紅太陽新蟲 (正式寫手)
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[交流]
旋涂法制備薄膜的技術(shù)屬于什么？
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旋涂法制備薄膜的技術(shù)屬于什么？CVD嗎？還是溶膠-凝膠法 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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4樓2021-09-01 22:13:00
to_Landau
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2樓2021-09-01 13:25:59
紅太陽
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3樓2021-09-01 16:10:43
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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旋涂跟CVD和PVD不是一回事。例如旋涂光刻膠，是先把液態(tài)的光刻膠滴在晶片中心，然后晶片旋轉(zhuǎn)，靠離心力將光刻膠均勻涂覆在整個晶片表面。例如PECVD沉積SiO2是先向反應(yīng)室通入硅烷和笑氣，加射頻激發(fā)等離子體，等離子態(tài)的硅烷和笑氣反應(yīng)生成氧化硅沉積在晶片表面。例如PVD沉積Cu是要有一個銅靶材，將Ar通入反應(yīng)室，在銅靶材上加直流或射頻電壓，通入的氬氣被電離成離子，轟擊靶材，被轟擊出的銅原子沉積在晶片表面。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2021-09-02 18:40:38
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