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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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[求助]
PECVD做的SiN不能沉積在Au和Cu上
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采用PECVD做的SiN可以沉積在Pt、NiCr上，能夠起到絕緣的作用，用萬用表的表筆測不出導(dǎo)通的電阻，但是用力往下按會有一些地方導(dǎo)通。 但是當(dāng)基底是Au、Cu薄膜時候，SiN根本沉積不上去，做完之后顏色只有略微的變化，用萬用表測還是導(dǎo)通的電阻，沉積時間過久會形成粉末狀的薄膜，一刮就掉下來了，但基片還是導(dǎo)通的 請問是什么原因呢？功率的問題還是厚度的問題呢？ |
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