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rainbow0912新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
有關(guān)于接觸式曝光機(jī)和平行光曝光機(jī)的疑問(wèn)？
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我是光刻小白，一直有個(gè)疑問(wèn)：類似于做PCB的那種平行光曝光機(jī)和一般用于做MEMS的接觸式光刻機(jī)有什么區(qū)別？都是汞燈紫外線平行通過(guò)掩膜版（菲林）進(jìn)行曝光，那他們的本質(zhì)差異是什么呀？望清楚的大神指點(diǎn)一下！ |
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babyoflion
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2樓2021-07-19 23:19:31
rainbow0912
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3樓2021-07-20 08:59:32
babyoflion
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4樓2021-07-20 12:49:17
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