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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 表面處理 » 銅表面射頻磁控濺射鍍鋁
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三水有相逢新蟲 (初入文壇)
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[求助]
銅表面射頻磁控濺射鍍鋁
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請問高手，我用射頻磁控濺射的方法在銅上鍍鋁，真空度6*10^-4,濺射的壓強(qiáng)為1.0pa，濺射的功率100w，靶基距8cm。濺射時間40分鐘以上。分別在不同的溫度下(50，100，150，200，400，500攝氏度)進(jìn)行實驗，每次都能正常起輝。但是沉積溫度在200，400，500攝氏度的時候就是鍍不上，當(dāng)沉積溫度是50，100，150攝氏度時就能鍍上。請問高手為什么會出現(xiàn)這種情況呢，或者有什么解決辦法嗎？各位有什么經(jīng)驗傳授一下��！萬分感激! 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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3樓2021-07-19 19:57:28
2樓2021-07-17 12:01:41
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