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xrq0525金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
關(guān)于光刻膠選擇的問(wèn)題，請(qǐng)教一下前輩們
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準(zhǔn)備制作微結(jié)構(gòu)材料，要直接用顯影后的光刻膠硅片做陰模，微結(jié)構(gòu)尺寸20微米，高度10微米，間距3微米，是用su-8還是AZ好一些呢？主要是精度要夠。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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babyoflion
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我覺(jué)得沒(méi)有問(wèn)題，深寬比也只有3！您是間距3，又不是留下來(lái)3！精準(zhǔn)控制就看工藝了 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
4樓2021-07-09 19:45:12
babyoflion
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2樓2021-07-09 18:32:03
xrq0525
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送紅花一朵 |
主要是那個(gè)間距3微米能比較精確地滿(mǎn)足嗎，之前某大的加工說(shuō)az4620在那個(gè)厚度分辨率不行 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2021-07-09 19:38:28
xrq0525
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5樓2021-07-09 20:04:10
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