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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 網(wǎng)絡生活區(qū) » 有獎問答 » 生活百科 » EBL工藝
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者張楊翠將贈送您 50 個金幣 | ||
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EBL工藝
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1、EBL工藝中，定影時間過長，對Pattern（50nm的小島）有什么影響？ 電子束光刻膠：PMMA A4 顯影：四甲基二戊酮：異丙醇=1:3,120s 定影：異丙醇，原本應該30s，結果手抖樣品沒拿出來泡了53s。 2、另外想請教各位實驗達人們，是怎么夾取樣品的呢？有沒有什么好用的工具推薦？謝謝！ |
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2樓2021-06-07 11:10:12
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