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wang_1111新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助!磁控濺射高真空純氬氣制備銀膜,輝光怎么會(huì)發(fā)紅???? 已有1人參與
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![]() 求助小木蟲里面的 大神,沈科儀的磁控濺射更換了直流和射頻靶靶頭以后,抽真空3個(gè)小時(shí)左右能到5*10-4。然后濺射銀膜,發(fā)現(xiàn)純氬氣濺射,輝光呈紅色,之前做都是偏藍(lán)色(40w直流),有沒有大神指點(diǎn)一下,是存在設(shè)備漏氣的原因么(里面進(jìn)了氧氣)? |
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