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儈勒峰南新蟲 (初入文壇)
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磁性鎳靶材鍍膜問題 已有3人參與
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我們實(shí)驗(yàn)室最近使用了鎳靶材進(jìn)行多靶磁控濺射鍍膜,但是鍍膜結(jié)果很不理想,想問下大家這個(gè)問題怎么解決。我們的靶材是在一個(gè)5mm厚的銅背板上加了一個(gè)1.5mm厚的鎳靶,工作的時(shí)候使用直流電源300W,但是起輝的壓強(qiáng)特別高,需要到50Pa以上才能起輝,并且工作時(shí)實(shí)際功率很不穩(wěn)定,一直在100W上下跳動(dòng),一會(huì)兒高一會(huì)兒低,輝光也是不穩(wěn)。。 我懷疑有幾個(gè)原因: 1.腔室真空度不夠。我們?cè)O(shè)備最近橡膠密封圈貌似有點(diǎn)問題,最高真空只能抽到1.5E-3左右 2.工作壓強(qiáng)到70Pa左右時(shí)實(shí)際功率能穩(wěn)定下來,但是壓強(qiáng)太高鍍膜的效果也會(huì)下降。。 麻煩有經(jīng)驗(yàn)的小伙伴分析下這個(gè)問題,謝謝大家~~! |
新蟲 (初入文壇)
金蟲 (正式寫手)
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