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[求助]
HF中加入AgNO3能增加對二氧化硅的刻蝕速率嗎 已有1人參與
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| 1.最近在小木蟲看到硝酸銀加入HF中能加快HF對于二氧化硅的刻蝕速率，請問是啥機理，硝酸銀添加量多少合適。2.我查文獻只找到HF/H2O2/AgNO3刻蝕得到硅陣列，請問要是不加H2O2，會對硅造成刻蝕嗎，因為基底硅，怕洗去二氧化硅時，硅也被刻蝕。 |
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2樓2021-04-08 13:54:37
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