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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 求問濺射lift off工藝要點
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jade_yang新蟲 (初入文壇)
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[交流]
求問濺射lift off工藝要點 已有3人參與
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在硅上做PT電極的圖形，濺射+lift off。膠是5350，大概1-2um，Pt濺射厚度50nm，用丙酮liftoff，但是一洗就掉。 求問是什么原因？考慮做粘附層；不知道圖形小有沒有關系？（大小為100um*100um） 順便想問下lift off的手法，可以晃動嗎？還是一直靜置。 先謝謝了！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-03-25 23:38:54
jade_yang
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2樓回答的確切，硅片做圖案化pt已經是很成熟的工藝了，增粘層和打底膠去除（表面清洗）沒啥問題的，但是前提你要保證顯影沒有問題 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2021-03-28 09:23:55
jade_yang
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5樓2021-03-28 18:26:24
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6樓2021-03-29 14:08:33
7樓2021-03-30 06:40:32
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