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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射過3分鐘，濺射電壓升高
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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射過3分鐘，濺射電壓升高 已有1人參與
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| 請教一下，最近做磁控濺射合金靶，一開始濺射電壓400V左右，過了3分鐘，一秒升高1V，沒幾分鐘就升高到500 600V了，請問是什么原因呢？每次做之前也打磨了靶材，3分鐘之前都挺穩(wěn)定，3分鐘之后就急速上升，這樣濺射時間可不敢做久了 |
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匿名
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2樓2021-03-15 06:51:05
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3樓2021-04-23 09:03:58
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