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敖小歸新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射TiN沉積失敗 已有2人參與
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用的TiN靶,射頻磁控濺射,純氬氣,壓強(qiáng)在3—4Pa,功率從50—100W都有嘗試。能起輝,輝光紫紅色,但是總是沉積不上,硅片上無(wú)任何東西,樣品托盤也無(wú)變化。濺射后靶材略有發(fā)黑。有時(shí)候功率高了靶材會(huì)發(fā)燙。請(qǐng)各位大佬指點(diǎn)一下,可能有哪些因素在影響?應(yīng)該怎么調(diào)參數(shù)才合適? 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
木蟲(chóng) (小有名氣)
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新蟲(chóng) (初入文壇)
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