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敖小歸新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射TiN沉積失敗 已有2人參與
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用的TiN靶,射頻磁控濺射,純氬氣,壓強(qiáng)在3—4Pa,功率從50—100W都有嘗試。能起輝,輝光紫紅色,但是總是沉積不上,硅片上無(wú)任何東西,樣品托盤(pán)也無(wú)變化。濺射后靶材略有發(fā)黑。有時(shí)候功率高了靶材會(huì)發(fā)燙。請(qǐng)各位大佬指點(diǎn)一下,可能有哪些因素在影響?應(yīng)該怎么調(diào)參數(shù)才合適? 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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新蟲(chóng) (初入文壇)
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[基金申請(qǐng)] 請(qǐng)問(wèn)大家,研究風(fēng)險(xiǎn)與應(yīng)對(duì)措施那里, 大家都怎么寫(xiě)呢 ? +3 | cauasen 2026-03-02 | 3/150 |
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[考研] 085602化學(xué)工程350,調(diào)劑,有沒(méi)有211的 +5 | 利好利好. 2026-03-02 | 9/450 |
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[考研] 0805總分292,求調(diào)劑 +12 | 幻想之殤 2026-03-01 | 12/600 |
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[考研] 284求調(diào)劑 +6 | 天下熯 2026-03-02 | 6/300 |
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[考研] 材料工程求調(diào)劑 +3 | 1431251 2026-03-03 | 3/150 |
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[考研] 080500材料科學(xué)與工程 +4 | 202114020319 2026-03-03 | 4/200 |
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[考研] 307求調(diào)劑 +6 | wyyyqx 2026-03-01 | 6/300 |
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[考研] 化工335求調(diào)劑 +5 | 摸摸貓貓頭 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 【2026 碩士調(diào)劑】課題組 招收調(diào)劑生 +3 | 考研版棒棒 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 11408,學(xué)碩276求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 0856材料調(diào)劑 +5 | 沿岸有貝殼OUC 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 化學(xué),材料,環(huán)境類(lèi)求調(diào)劑 +7 | 考研版棒棒 2026-03-02 | 7/350 |
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[考研] 292求調(diào)劑 +7 | yhk_819 2026-02-28 | 7/350 |
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[基金申請(qǐng)]
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Doma 2026-03-01 | 7/350 |
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[考研] 272求調(diào)劑 +6 | 田智友 2026-02-28 | 6/300 |
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[考研] 311求調(diào)劑 +6 | 亭亭亭01 2026-03-01 | 6/300 |
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[考研] 317一志愿華南理工電氣工程求調(diào)劑 +6 | Soliloquy_Q 2026-02-28 | 11/550 |
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[考研]
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LYidhsjabdj 2026-02-28 | 4/200 |
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[考研] 307求調(diào)劑 +4 | 73372112 2026-02-28 | 6/300 |
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[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 52hz~~ 2026-02-28 | 5/250 |
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