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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者老農(nóng)木將贈送您 18 個(gè)金幣 | ||
老農(nóng)木新蟲 (小有名氣)
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[求助]
機(jī)械剝離材料光刻顯影開裂
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 想請問一下，我是在帶刻度的硅片上二維材料機(jī)械剝離，用剝離后的材料旋涂950 PMMA光刻后顯影發(fā)現(xiàn)會在圖形尖銳的地方出現(xiàn)開裂，想問下蟲蟲有沒有遇到這個(gè)問題的，怎么解決的 |
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