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[交流]
對于EPI外延P型摻雜 已有1人參與
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請問對于半導體外延硅片，邊緣性ESFQR改善，在3x flower 進氣的情況下，我們是否可以考慮增加底部氣流，而限制邊緣惡化型，減小ZDD，從而達到邊緣塌邊減少，惡化值變小狀況。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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4樓2022-06-27 13:14:26
2樓2021-01-21 11:12:34
3樓2022-06-27 13:12:52
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