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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 跨學科應用 » 電子束光刻顯影不成功
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者老農(nóng)木將贈送您 5 個金幣 | ||
老農(nóng)木新蟲 (小有名氣)
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[求助]
電子束光刻顯影不成功 已有1人參與
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求助一下，我做電子束光刻器件，光刻膠用PMMA,因為材料是機械剝離的光刻完會出現(xiàn)開裂，現(xiàn)在把顯影液換成純IPA,做曝光劑量測試時器件總是有一部分顯影不出來，有蟲蟲遇到過這個問題嗎 [ 發(fā)自手機版 http://m.gaoyang168.com/3g ] |
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2樓2021-01-27 14:05:01
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3樓2021-02-07 15:38:16
老農(nóng)木
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4樓2021-02-08 09:01:03
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5樓2021-04-08 22:52:01
xiangan315
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6樓2021-07-22 11:04:45
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