光學(xué)輪廓儀、3D輪廓儀、白光干涉儀、激光干涉儀、輪廓儀
深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓
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SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀助力半導(dǎo)體智能制造
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隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，8 inch和12 inch晶圓已成行業(yè)主流，為適應(yīng)現(xiàn)代化智能制造工廠生產(chǎn)管理需求，中圖儀器在superview w1光學(xué)3d表面輪廓儀基礎(chǔ)上進(jìn)行升級，推出了新一代專用于半導(dǎo)體行業(yè)大尺寸晶圓自動化檢測的w3型光學(xué)3d表面輪廓儀。 superview w3光學(xué)3d表面輪廓儀，為半導(dǎo)體行業(yè)微觀檢測量身打造，具有多個顯著的優(yōu)點： 1.最大300*300mm的行程，可適配12inch及以下的所有尺寸的晶圓； 2.同時兼容12inch及以下規(guī)格的真空吸盤，一臺設(shè)備，即可適用于多條產(chǎn)線； 3.可編程自動化測量，使用“低倍搜索，高倍測量”的方式，可以快速實現(xiàn)多區(qū)域的高精度定位測量。 觀看superview w3光學(xué)3d表面輪廓儀用于半導(dǎo)體劃片工藝，激光鐳射切割槽道輪廓深寬尺寸測量短視頻，感受其獨特魅力！ |
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