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Silya新蟲 (小有名氣)
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[求助]
Su-8 紫外光刻 已有1人參與
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厚度70μm， 問題1旋涂過程中總有小泡； 問題2前烘中從65℃到95℃，硅片一直待在基底上還是，65°C完成后，移出，待95℃再放上去； 問題3曝光劑量指的是在哪一波長下的； 問題4在曝光后放在加熱板的一瞬間，光刻膠出現(xiàn)褶皺，什么原因?qū)е碌模?br /> 問題5 最終70μm的膠只出來了10μm左右的坑，原因是因為過度曝光加基底衍射嗎 感謝各路神仙不吝賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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tt66tt55
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- 性別: GG
- 專業(yè): 原子和分子物理
3樓2020-12-24 16:10:20
2樓2020-12-24 15:11:14
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