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磁控直流濺射鈦顏色變成了藍(lán)綠色！ 已有1人參與
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求助，磁控濺射直流電源濺射鈦靶顏色變成了藍(lán)綠色（全新的靶），之前都是正常的，為紫紅色，大概2個(gè)月多沒(méi)用，這次打開濺射就變成了藍(lán)綠色，隨著功率增加，顏色越綠，這是什么情況啊，電源哪去維修檢測(cè)，在廠家測(cè)試正常，為紫紅色輝光，采用射頻電源接直流電源所對(duì)應(yīng)的靶頭，顏色也為紫紅色，糊涂了不知道什么原因，如何解決，設(shè)備商人員也不知到哪里的問(wèn)題，求助大家！�。� 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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3樓2020-12-29 21:48:15
2樓2020-12-08 22:47:59
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