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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術交流 » PECVD生長Al2O3
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841818924木蟲 (小有名氣)
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[求助]
PECVD生長Al2O3
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| 請問半導體行業(yè)里面為什么用PECVD生長Al2O3的很少，一般都用ALD生長，長出來的質(zhì)量不好還是什么原因 |
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krny4060
新蟲 (小有名氣)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 525.4
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- 蟲號: 23032721
- 注冊: 2020-07-10
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結構
2樓2021-03-12 05:00:43
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