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[求助]
我有一個硅片基底的試樣，表面是塑料有機物膜，想打半球形凹孔，請教合適的工藝 已有2人參與
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| 大家好，我想在一個試樣表面打半球形凹孔陣列，試樣參數(shù)如下：尺寸1cm x 1cm x 0.1cm硅片，表面鍍有200nm塑料膜。半球形凹孔（不能打穿，要盲孔）要求直徑盡量的小，50微米上下（可以商量），凹孔間距65微米左右（可以商量）。請問什么選擇什么刻蝕工藝比較合適？要求刻蝕的時候最好不要改變非刻蝕區(qū)的物質(zhì)組成。謝謝各位。 |
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babyoflion
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2樓2020-10-26 12:54:29
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3樓2020-10-26 21:22:34
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OK |
4樓2020-11-02 15:01:34
5樓2020-11-02 15:01:44
babyoflion
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6樓2020-11-02 19:10:00
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