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柳昭和鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
激光或飛秒激光打凹孔陣列的問題，謝謝 已有2人參與
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大家好，有個(gè)問題請(qǐng)教：我在硅片基底上鍍了一層幾百納米厚的塑料薄膜。在這個(gè)表面上我想打凹孔（半球形的凹孔）陣列，孔徑50微米左右，如果能加工的再小一點(diǎn)更好，比50微米大一點(diǎn)也沒關(guān)系。5 x 5的陣列或者10 x 10的陣列都可以，孔間距65微米左右。請(qǐng)問用哪種工藝比較好？如果用激光打孔，是不是孔周圍的物質(zhì)就全變質(zhì)（燒蝕被燒糊了）了？ 謝謝各位的解答，不當(dāng)之處還請(qǐng)諒解我這個(gè)新人。 |
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2樓2020-11-02 20:56:35
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3樓2020-11-06 15:23:29
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