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[交流]
濺射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？
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我用了99.99的氧化鋁靶材濺射薄膜，靶材密度估算是3.6；可惜沒有濺射下來。 尋找原因： 1、背板與靶材的有沾牢固。 2、功率最大用到200W。 3、百分之十的氧氬混合氣。 4、基臺500攝氏度。 5、靶材開裂，靶材厚度1.5mm 突發(fā)想法，靶材致密度越高，會不會影響濺射？ 請大家提提意見， |
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4樓2021-01-05 13:27:20
lvhong
至尊木蟲 (著名寫手)
木蟲
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一般是綁定結(jié)合不好導(dǎo)致靶材表面熱量不能快速導(dǎo)出，濺射過程不能順利進(jìn)行。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2020-09-23 07:29:08
王龍權(quán)
木蟲 (著名寫手)
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如果有射頻電源，建議濺射期間，打開射頻電源；純鋁濺射，有時(shí)因氧化問題而產(chǎn)生靶中毒，都會導(dǎo)致靶材發(fā)紅甚至開裂，關(guān)鍵有時(shí)候根本不起輝。做氧化鋁陶瓷膜為啥不考慮做反應(yīng)鍍膜，純鋁靶材+氧氣？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2020-10-13 17:37:26
5樓2021-01-05 13:31:02
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